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.二氧化硅光波导的制作工艺玻璃光波导的制作工艺如所示，整个工艺分为五步：1)在玻璃基片上溅射一层铝，作为离子交换时的掩模层，如（b）所示；2)进行光刻，将需要的波导图形用光刻胶保护起来，如（c）所示；3)采用化学腐蚀，将波导上部的铝膜去掉，如（d）所示；4)将做好掩模的玻璃基片放入含Ag+－Na+离子的混合溶液中，在适当的温度下进行离子交换，如（e）所示，Ag+离子提升折射率，得到如（f）所示的沟道型光波导；5)对沟道型光波导施以电场，将Ag+离子驱向玻璃基片深处，得到掩埋型玻璃光波导，如（g）所示。松滋耐火光缆多少钱,2芯光缆厂家

.玻璃光波导的制作工艺3.平面光波导的应用铌酸锂晶体具有良好的电光特性，在电光调制器中应用广泛。

InP材料既可以制作光有源器件又可以制作光无源器件，被视为光有源/无源器件集成的最好平台。

SOI材料在MEMS器件中应用广泛，是光波导与MEMS混合集成的优良平台。

聚合物波导的热光系数是SiO2的32倍，应用在需要热光调制的动态器件中，可以大大降低器件功耗。